Μονάδα εμπρόσθιου άκρου wafer 300mm

BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter

Μοντέλο: ASYST Spartan EFEM
Τύπος: Sorter
Κατάσταση: Μεταχειρισμένο

Τεχνικά χαρακτηριστικά:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Hsdjx I Ax Sjpfx Aamonk

Γενικά:
EFEM 300 mm με 3 Loadports, περιβάλλον καθαρού χώρου (minienvironment) και ενσωματωμένο ρομπότ μεταφοράς wafer

Η συσκευή αυτή είναι ένα Equipment Front End Module (EFEM) της σειράς ASYST Spartan, σχεδιασμένο για πλήρως αυτοματοποιημένο χειρισμό wafers πυριτίου 300 mm στη βιομηχανία ημιαγωγών.
Διαθέτει τρεις loadports, περιβάλλον καθαρού χώρου με φίλτρα αέρα ULPA, εσωτερικό φωτισμό, εκτεταμένα συστήματα ασφαλείας καθώς και όλες τις απαραίτητες διεπαφές για ενσωμάτωση σε γραμμή παραγωγής.
Επιπλέον διαθέτει πλήρως ενσωματωμένο ρομπότ μεταφοράς wafer, το οποίο παραλαμβάνει wafers από τα loadports FOUP/κασέτες, τα διαχωρίζει και τα μεταφέρει με ακρίβεια στα επόμενα μονάδες διεργασίας.

Έτος κατασκευής: 27.12.2010
Περιλαμβάνεται CD με οδηγούς χειρισμού, σέρβις και εγκατάστασης (9701-3060-01 Rev G)

Η αγγελία μεταφράστηκε αυτόματα. Ενδέχεται να υπάρχουν σφάλματα μετάφρασης.